MEMS 光纖加速度傳感器是一種雙正交單分向的寬頻帶加速度傳感器，是將加速度檢測(cè)質(zhì)量塊、彈性支撐體、光學(xué)反射微鏡、光入射及出射波導(dǎo)直接集成在一個(gè)微小的芯片上，真正實(shí)現(xiàn)了對(duì)加速度信號(hào)的全光檢測(cè)和傳輸。MEMS 光纖加速度傳感器結(jié)構(gòu)緊湊，采用氧化鋁對(duì)MEMES 加速度芯片進(jìn)行封裝，靈敏度高，動(dòng)態(tài)范圍大、線性度好、低頻從0Hz開(kāi)始，具有平坦的頻率特性響應(yīng)、相位呈線性變化，技術(shù)參數(shù)一致性好、性能穩(wěn)定可靠。